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Products尺寸、轮廓、形状测量 激光干涉仪
一、应用范围
SJ6000 激光干涉仪具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、****测速下分辨率高等优点，结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在 SJ6000 激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测， 以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
二、产品介绍
激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。
SJ6000 激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达 50000 小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现**** 4m/s 的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。
三、产品配置
SJ6000 激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。
四、产品特点
SJ6000 激光干涉仪以干涉技术为核心，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和
1.材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。
2.可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；
3.可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；
4.可实现对机床回转轴的测量与校准；
5.可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；
6.具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；支持手动或自动进行环境补偿。
7.友好的人机界面；
8.丰富的应用功能模块；
9.向导式的操作流程；
10.简洁化的记录管理；
11.支持中文、英文和俄文界面；
12.支持企业专属模板定制。
13.内置 13 份标准，包含 GB、ISO、英标、美标、德标、日标等国内外通用标准。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
五、国家标准
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序号 |
标准号 |
标准名称 |
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1 |
GB/T 17421.2-2000 |
中国国家标准 |
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2 |
GB 10931-1989 |
中国国家标准 |
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3 |
ISO 230-2-1997 |
1997 版国际标准 |
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4 |
ISO 230-2-2006 |
2006 版国际标准 |
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5 |
ISO 230-2-2014 |
2014 版国际标准 |
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6 |
ASME B5.54-2005 |
美国国家标准 |
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7 |
ASME B89.1.12M-1990 |
美国机械工程师协会标准 |
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8 |
NMTBA-1997 |
美国机床协会标准 |
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9 |
BS 3800-2-1991 |
英国机床标准 |
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10 |
BS 4656-16-1985 |
英国机床标准 |
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11 |
JIS B6330 |
日本国家标准 |
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12 |
VDI 3441 |
德国机床标准 |
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13 |
JJG 117-2005 |
平板检定规程 |
六、技术指标
型号：WR50
角度测量范围：(0~360)°
测量精度：±1″
分辨力：0.1
****转速：10rpm
****跟踪速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直径：112mm
通信方式：蓝牙传输供电方式：锂电池
信号输入：差分 TTL(RS422)正交编码信号、10μApp 微电流信号输出形式：10μs 脉冲
触发延时：0.1μs 供电电源：12VDC
便携箱尺寸：613mm×460mm×230mm 标准配置重量：18kg
供电电源：(100~240)VAC
激光的安全等级达到 Class I 要求
稳频精度：0.05ppm
动态采集频率：50 kHz
预热时间：约 8 分钟
工作温度范围：(0~40)℃ 存储温度范围：(-20~70)℃ 环境湿度：(0~95)%RH
空气温度传感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力 0.01℃ 材料温度传感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力 0.01℃ 空气湿度传感器：±5%RH (0~95)%RH
大气压力传感器：±0.1kPa (65~115)kPa
测量距离：(0~80)m (无需远距离线性附件)
测量精度：0.5ppm (0~40)℃ 测量分辨力：1nm
测量****速度：4m/s
轴向量程：(0~15)m 测量范围：±10°
测量精度：±(0.02%R+0.1+0.25M)″ (R 为显示值，单位：″；M 为测量距离，单位：m) 测量分辨力：0.1″
轴向量程：(0~15)m 测量范围：±1.5mm
测量精度：±(0.2%R+0.02M2)μm (R 为显示值，单位：μm；M 为测量距离，单位：m) 基板尺寸：180mm 可调，360mm 可调
测量分辨力：0.1μm
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轴向量程 |
测量范围 |
测量精度 |
分辨力 |
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短距离 |
(0.1～3.0)m |
±3mm |
±(0.5+0.1%R+0.2M)″ |
0.01μm |
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长距离 |
(1.0～15.0)m |
±3mm |
±(1+0.5%R+0.04M)″ |
0.1μm |
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注：R 为垂直度结果；M 为测量距离，单位：m |
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七、配件与证书
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序号 |
名称 |
明细 |
备注 |
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1 |
SJ6000 主机 |
1 台，配云台、电源适配器 |
标配 |
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2 |
通用三脚架 |
1 个，配便携包 |
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3 |
笔记本电脑 |
1 台，配测量软件 |
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4 |
环境补偿单元 |
环境补偿主机：1 个，内置空气湿度和大气压力传感器 |
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空气温度探头：1 个，线长 5 米 |
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材料温度探头：3 个，线长 5 米 |
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5 |
标配附件 |
USB 线：2 根 |
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磁性表座：2 个 |
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安装柱：4 节 |
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辅助安装块：1 块 |
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水平仪：1 个 |
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6 |
线性镜组 |
线性干涉镜、线性反射镜，各 1 个，夹紧孔座 2 个 |
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7 |
便携式拉杆箱 |
1 个，外尺寸：613mm×460mm×230mm |
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8 |
线性附件 |
三坐标测头夹具：1 套 |
选配 |
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9 |
轻型线性镜组：小角锥反射镜、缩光镜，各 1 个 |
选配 |
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10 |
可调转向镜：1 个 |
选配 |
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11 |
角度镜组 |
角度干涉镜、角度反射镜，各 1 个 |
选配 |
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12 |
平面度镜组 |
180mm、360mm 可调基板，各 1 个，平面度旋转镜 2 个 |
选配 |
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13 |
短直线度镜组 |
短距离直线度干涉镜、短距离直线度反射镜，各 1 个 |
选配 |
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14 |
长直线度镜组 |
长距离直线度干涉镜、长距离直线度反射镜，各 1 个 |
选配 |
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15 |
直线度附件 |
大角锥反射镜、90 度转向镜、直线度底座、M8 接头， 各 1 个 |
选配 |
