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材料可靠性、失效分析 涂镀层测厚仪

  • 日立FT110A X射线荧光镀层厚度测量仪 详细说明

1.即放即测! 2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量! 3.可无标样测量! 4.通过样品整体图像更方便选择测量位置!

1. 通过自动定位功能提高操作性

测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。

2. 微区膜厚测量精度提高

通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

3. 多达5层的多镀层测量

使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。

4. 广域观察系统(选配)

可从****250×200mm的样品整体图像指定测量位置。

5. 对应大型印刷线路板(选配)

可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。

6. 低价位

与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。

型号

FT110A

测量元素

原子序号Ti(22)~Bi(83)

X射线源

空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
管电流:10~1000μA

检测器

比例计数管

准直器

○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種

样品观察

CCD摄像头

对焦

激光对焦(自动)

滤波器

一次滤波器(自动切换)

样品区域

[固定]535×530 mm
[电动] 260×210 mm (移动量X:250 mm, Y:200 mm)

测量软件

薄膜FP法(****2层、10种元素)、检量线法

安全功能

样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能

选购项

· 图像处理软件

· 块体FP软件(材料组成分析)

· 块体检量线软件(电镀液分析)

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